半导体材料等级
半导体制造中使用的材料等级
半导体材料等级是什么?性能要求根据弹性体在工艺中的位置而有所不同。使用我们的弹性体材料的优点包括降低拥有成本，延长工具预防性维护(PM)周期，降低工艺缺陷，减少颗粒产生，并最大限度地提高设备性能。
下表是我们推荐的材料等级(其他等级可选):
没有材料。 |
材料名称 |
硬度 |
分钟临时 |
马克斯临时 |
材料等级 |
| FFKM | 64 Shore A | -20°C(4°F) | + 275°C(527°F +) | 全氟弹性体，超纯硅晶级 | |
| MBMS1040 | FFKM | 66年上海o再一个 | -15°C(+ 5°F) | + 275°C(527°F +) | 全氟弹性体，抗自由基等离子体 |
| FFKM | 68 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 300°C(572°F +) | 全氟弹性体，抗等离子体 | |
| MBMS0585 | FFKM | 65 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 275°C(527°F +) | 全氟弹性体，高纯度硅晶级 |
| MBMS0391 | FFKM | 74 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 275°C(527°F +) | 全氟弹性体，高纯度硅晶级 |
| MBMS0021 | FFKM | 78 Shore A海岸 | -15°C(+ 5°F) | + 325°C(617°F +) | 全氟弹性体，高温级 |
| MBMS0245 | FFKM | 74 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 320°C(608°F +) | 全氟弹性体，高温半导体级 |
| MBMS0729 | FFKM | 70 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 260°C(500°F +) | 全氟弹性体，耐化学腐蚀的硅晶级 |
| MBMS1108 | FFKM | 66 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 310°C(590°F +) | 全氟弹性体，高温，耐等离子体级 |
| MBMS0966 | FFKM | 90 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 300°C(572°F +) | 全氟橡胶，耗散级 |
| MBMS0684 | FFKM | 79 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 280°C(536°F +) | 高性能弹性体，抗等离子体 |
| FFKM | 70 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 270°C(518°F +) | 高性能弹性体 | |
| MBMS0406 | FFKM | 67 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 300°C(572°F +) | 高性能弹性体 |
| MBMS1119 | FKM | 74 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 250°C(482°F +) | 高氟氟弹性体，增强耐热性和耐化学性 |
| FFKM | 73 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 260°C(500°F +) | 高纯度，抗等离子体氟弹性体 | |
| MBMS0257 | FFKM | 67 Shore A | -20°C(4°F) | + 180°C(356°F +) | 超纯含氟聚合物级 |
| MBMS0825 | FFKM | 70 Shore A | -15°C(+ 5°F) | + 310°C(590°F +) | 全氟弹性体，高温级 |
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